關(guān)于精密位移平臺(tái)在精度較低的場(chǎng)合使用時(shí)需注意事項(xiàng)

添加時(shí)間：2020-6-9 8:39:56 作者：浙江金科機(jī)械傳動(dòng)有限公司

精密位移平臺(tái)技術(shù)中的位移檢測(cè)一般用到的檢測(cè)儀器：
（1）光學(xué)刻尺、計(jì)量光柵，分辨率可達(dá)10～2μm，磁柵、柵加電子細(xì)分，分辨率可達(dá)1μm～10nm。
（2）電感和電容測(cè)微儀，分辨率為10～0.1μm，也可用于精密定位技術(shù)中。
（3）激光干涉儀具有高的分辨率，可達(dá)1～10nm，但是設(shè)備較大，環(huán)境要求高，投資大，一般用于標(biāo)定工作臺(tái)所能實(shí)現(xiàn)的定位精度。

精密位移平臺(tái)控制方式
（1）精密位移平臺(tái)開環(huán)控制，在定位精度較低的場(chǎng)合可以采用，例如在超薄病理試片切片機(jī)中采用的電熱控制，定位精度要求不高，但是可以獲得A量級(jí)的微進(jìn)給。在強(qiáng)激光多維靶鏡調(diào)焦定位系統(tǒng)中，采用開環(huán)控制，由步進(jìn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)調(diào)焦靶鏡，得到定位系統(tǒng)的調(diào)焦分辨力為1μm，定位精度為2.5μm，重復(fù)精度為1.1μm。
（2）精密位移平臺(tái)伺服反饋閉環(huán)控制，是精密定位領(lǐng)域最常用的控制方式，即是以伺服電機(jī)作為系統(tǒng)的執(zhí)行元件，并在位置回路中接入誤差檢測(cè)裝置（光柵、磁柵、激光干涉儀等），進(jìn)行誤差補(bǔ)充提高定位精度。
控制算法的研究也是精密位移平臺(tái)的一個(gè)研究熱點(diǎn)，通過優(yōu)化算法，研究理想控制模型，從而通過閉環(huán)控制彌補(bǔ)驅(qū)動(dòng)器或執(zhí)行器的硬傷，以滿足高精度要求。