為什么手動(dòng)位移平臺(tái)在測(cè)量時(shí)的精度會(huì)產(chǎn)生誤差？

添加時(shí)間：2016-7-1 6:51:49 作者：浙江金科機(jī)械傳動(dòng)有限公司

   由于要求手動(dòng)位移平臺(tái)具有高速度、高精度和大行程,而高速度、大行程勢(shì)必手動(dòng)位移平臺(tái)帶來(lái)較大的慣性,很難達(dá)到較高的定位精度.步進(jìn)電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸節(jié)帶動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn),因此絲杠的回程誤差是影響定位速度的主要因素.
   手動(dòng)位移平臺(tái)的精度主要受計(jì)量光柵的分辨率影響,從光柵測(cè)微傳感器出來(lái)的信號(hào),經(jīng)放大、細(xì)分之后,分辨率達(dá)到1μm左右.當(dāng)然,細(xì)分可以加大,但工作臺(tái)的定位速度就要受到影響.綜合考慮,取工作臺(tái)的定位精度達(dá)到1μm.
   經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn),得到如圖5和圖6的誤差曲線圖.兩次實(shí)驗(yàn)都是絲杠每前進(jìn)1mm測(cè)得的誤差值.未加光柵反饋時(shí)誤差曲線圖,其誤差范圍為(-28.22~16.64)μm,誤差平均值為-5.82μm.加光柵反饋信號(hào)后的誤差曲線,其誤差范圍為(-0.5~0.59)lm,誤差平均值為-0.06μm.顯然,手動(dòng)位移平臺(tái)的定位精度得到了明顯改善.