為什么手動位移平臺在測量時的精度會產(chǎn)生誤差？

添加時間：2016-7-1 6:51:49 作者：浙江金科機械傳動有限公司

   由于要求手動位移平臺具有高速度、高精度和大行程,而高速度、大行程勢必手動位移平臺帶來較大的慣性,很難達到較高的定位精度.步進電機通過聯(lián)軸節(jié)帶動絲杠旋轉(zhuǎn),因此絲杠的回程誤差是影響定位速度的主要因素.
   手動位移平臺的精度主要受計量光柵的分辨率影響,從光柵測微傳感器出來的信號,經(jīng)放大、細分之后,分辨率達到1μm左右.當(dāng)然,細分可以加大,但工作臺的定位速度就要受到影響.綜合考慮,取工作臺的定位精度達到1μm.
   經(jīng)過實驗,得到如圖5和圖6的誤差曲線圖.兩次實驗都是絲杠每前進1mm測得的誤差值.未加光柵反饋時誤差曲線圖,其誤差范圍為(-28.22~16.64)μm,誤差平均值為-5.82μm.加光柵反饋信號后的誤差曲線,其誤差范圍為(-0.5~0.59)lm,誤差平均值為-0.06μm.顯然,手動位移平臺的定位精度得到了明顯改善.